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  • 应用环境:

    生产集成电路芯片需要高度专业化的设备,可在多重苛刻环境下工作,如:

    ◆ 真空环境下的等离子

    ◆ 高温

    ◆ 与高度研磨液接触

    ◆ 暴露于多种高腐蚀性化学品

    ◆ 与石英和陶瓷等传统材料相比,永邦公司)已研发出多种材料,既满足了晶圆低污染加工的最严格要求,又是低成本的解决方案。永邦公司的材料被设计用于整个晶圆加工制程。

    您的优势:

    ◆ 准确复制全球任何地区可用的材料

    ◆ 广泛的材料选择、工程支持和测试能力

    ◆ 机加工能力,支持仿真系统NPI应用发展

    ◆ 材料组合最为广泛,专设计用于湿制程工具

    ◆ CMP环材料的一流制造商,包括PEEK、PPS

    ◆ 用于刻蚀、CVD和离子植入等干式制程工具的材料,可降低成本和提高性能

    产品:

    ◆ 聚苯硫醚(PPS)

    ◆ 聚醚醚酮(PEEK)

    ◆ TORLON PAI

    ◆ ULTEM PEI

    应用:

    ◆ CMP环

    ◆ 晶圆传送、滚轮

    ◆ 刻蚀、湿制程部件

    ◆ 湿制程构造

    电子半导体
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